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產(chǎn)品與技術(shù)

產(chǎn)品與技術(shù)

第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備

第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備

機型：QDE系列
外延設(shè)單腔/多片（最大3×8Inch）+潔凈真空機械手搬運， ?各盤獨立控溫，控溫精度高； ?水平層流布氣+分子泵排氣，控制氣體分布均勻； ?工藝進程實時監(jiān)控，精準(zhǔn)控制參數(shù)；

適用領(lǐng)域

  • 電子工業(yè)
    電子工業(yè)
  • 交通運輸
    交通運輸
  • 光伏
    光伏